成份組成 - 可靠度測試|材料分析|失效分析|材料表面分析 ...
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成份分析主要是用於確認材料或者薄膜的成份以及主要組成的含量。
選擇分析方式的技巧主要取決於以下幾個因素:最好使用淺層深度(<100Å)資訊的量化技術來對元素和化學表面成份進行測量,例如Auger電子光譜或者X-射線光電子光譜。
最好是使用忽略表面成份變化並且帶有較大/較深資訊的技術來確定塊材成分,通常在這些方法中找不到具體的深度資訊。
X射線螢光分析(XRF)和感應耦合電漿原子發射光譜(ICP-OES)是可以同時定量主要元素成分和微量元素成分中最具相關性的技術。