TFT-LCD製程介紹
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面板小博士:下方為TFT 基板製程簡圖,供大家參考。
此流程需重複5次,才能完成TFT 基板。
○ 成膜:在玻璃基板上,舖上一層所需求材質的薄膜( PVD / CVD )。
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技術研發
ArrayEngineering:
面板小博士:下方為TFT基板製程簡圖,供大家參考。
此流程需重複5次,才能完成TFT基板。
●成膜:在玻璃基板上,舖上一層所需求材質的薄膜(PVD/CVD)。
●曝光:使用光罩在光阻上,顯影出所需求的光阻圖形。
●顯影:留下上階段光阻圖形部分的光阻。
●蝕刻:在已經有光阻圖形之基板上,蝕刻出所需求的圖(Wet/Dry)。
●剝膜:已經蝕刻出所需求之圖形的基板,將覆蓋於圖形上之光阻去除以便進行後續工程。
面板工程(CellEngineering):
●配向:將配向膜刷出溝槽狀的痕跡,期使液晶分子能夠循一定的傾斜角度排列,此角度即稱為「預傾角」。
●框膠印刷:利用環氧樹脂&壓克力樹脂提供CF側基板和TFT側基板結合應力,使後製程切裂時應力均衡及液晶注入時不致外洩。
●組立封著:將彩色濾光片與TFT玻璃基板結合。
面板小博士:
真空吸入(如上圖)和滴入式(ODF如下圖),此兩種方式為新舊製程技術,ODF為近來新研發出之技術,優點如下:
1.減少液晶注入時間,一片32吋面板用真空吸入方式注入,需花3天時間方可注滿,而ODF只需數小時。
2.減少數道製程,降低人力、設備成本。
模組工程ModuleEngineering:
液晶顯示器簡史:
發展趨勢:
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