TFT-LCD製程介紹

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面板小博士:下方為TFT 基板製程簡圖,供大家參考。

此流程需重複5次,才能完成TFT 基板。

○ 成膜:在玻璃基板上,舖上一層所需求材質的薄膜( PVD / CVD )。

  TFT-LCD簡介 TFT-LCD製程介紹 尺寸 技術研發 ArrayEngineering: 面板小博士:下方為TFT基板製程簡圖,供大家參考。

此流程需重複5次,才能完成TFT基板。

●成膜:在玻璃基板上,舖上一層所需求材質的薄膜(PVD/CVD)。

●曝光:使用光罩在光阻上,顯影出所需求的光阻圖形。

●顯影:留下上階段光阻圖形部分的光阻。

●蝕刻:在已經有光阻圖形之基板上,蝕刻出所需求的圖(Wet/Dry)。

●剝膜:已經蝕刻出所需求之圖形的基板,將覆蓋於圖形上之光阻去除以便進行後續工程。

面板工程(CellEngineering): ●配向:將配向膜刷出溝槽狀的痕跡,期使液晶分子能夠循一定的傾斜角度排列,此角度即稱為「預傾角」。

●框膠印刷:利用環氧樹脂&壓克力樹脂提供CF側基板和TFT側基板結合應力,使後製程切裂時應力均衡及液晶注入時不致外洩。

●組立封著:將彩色濾光片與TFT玻璃基板結合。

面板小博士: 真空吸入(如上圖)和滴入式(ODF如下圖),此兩種方式為新舊製程技術,ODF為近來新研發出之技術,優點如下: 1.減少液晶注入時間,一片32吋面板用真空吸入方式注入,需花3天時間方可注滿,而ODF只需數小時。

2.減少數道製程,降低人力、設備成本。

模組工程ModuleEngineering: 液晶顯示器簡史: 發展趨勢:



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