干涉儀系統的運作方式？ - Renishaw

跳轉瀏覽首頁-位置與運動控制-雷射干涉編碼器-為什麼使用雷射編碼器？-干涉儀系統的運作方式？干涉儀系統的運作方式？RLE系統HS20系統RCU10系統 干涉量測法如何運作？簡介第一位贏得諾貝爾科學獎的美國人AlbertAbrahamMichelson，於1887年發明的Michelson干涉儀，是干涉量測法最常見的工具。

他利用鏡子和半透明鏡子（分光鏡）合併來自相同光源的不同光束。

雷射干涉量測法是確立已久的距離量測方法，具有很高的精度。

基本原理通常是以Michelson干涉儀將一致光源的單一入射光束分成