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無塵室
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NASA的淨室
建設中的微電子生產用無塵室
全套的無塵室服裝
無塵室,又稱淨室、潔淨室或清淨室,是指一個具有低污染水準的環境,這裡所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發性氣體。
更準確地講,一個無塵室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數,或者用最大顆粒大小來厘定的。
低階別的無塵室通常是沒有經過消毒的(如沒有受控的微生物),更在意的是無塵室中的灰塵。
淨室的定義為:將空間