光阻塗佈機

光阻塗佈: 去水烘烤、HMDS塗佈、光阻塗佈、厚PI塗佈、軟烤將光阻由噴嘴噴吐在晶圓上，使用旋轉載台帶動晶片高速旋轉後，將光阻均勻散佈在晶圓片上.

第二章光阻鍍膜機製程介紹. 本章流程圖. 介紹光阻的化學性質與作用光阻化學成分簡介光阻劑主成之要點. 去水烘烤HMDS 光阻塗佈機製程原理及關係式軟烤的溫度控制.

光阻劑的主要功能為在微影成像過程中將光罩上的圖形轉移至晶片上，當作蝕刻或離子植入時的保護層。 光阻塗佈機(Spin Coater). 主要是用來作光阻的塗佈。

塗佈應用. ○ 光阻塗佈(半導體、平面顯示、觸控). ○ 光學膜塗佈(增亮、抗炫、抗 ... 6-8吋旋轉塗佈機. 6-8in spin coater. 8吋旋轉塗佈/貼合/IR烘乾多功能塗佈. 機.

光阻塗佈程式的參數有光阻管路、轉速、加速度、對應時間、EBR及Exhaust on/off 等。 • Spin speed 範圍在50~5000 rpm，精準度為+/-1 rpm。 • 高精密度...