光阻涂布 - 科毅科技股份有限公司
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在黄光制程中,光阻涂布机可说是第一站,因此涂布机的稳定及均匀性可说是决定制程良莠的首站关卡。
本公司所提供的涂布采用高性能的伺服及DC马达,可达到精准及可靠的 ...
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在黄光制程中,光阻涂布机可说是第一站,因此涂布机的稳定及均匀性可说是决定制程良莠的首站关卡。
本公司所提供的涂布采用高性能的伺服及DC马达,可达到精准及可靠的控制。
本公司之各类涂布机适合不同需求之黄光制程包含:触控可程式光阻涂布机(桌上型)、两段式旋转涂布机(桌上型)、小型两段式旋转涂布机(桌上型)、桌上型伺服涂布机等专业涂布机,详细规格请点选下列连结。
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光阻涂布 · 曝光(光刻) · 无光罩雷射直写曝光机 · 光罩 · 显影 · 蚀刻机 · 清洗 · 真空干燥机(VCD).
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