光阻塗佈機

在黄光制程中，光阻涂布机可说是第一站，因此涂布机的稳定及均匀性可说是决定制程良莠的首站关卡。本公司所提供的涂布采用高性能的伺服及DC马达，可达到精准及可靠的 ...

光阻塗佈機/Coater. CSE S-470主要是用來作半導體黃光製程的光阻塗佈。Spin Coating是最廣為用來上光阻的方法，通常的做法是將定量的阻劑塗佈在晶圓中心，在藉由不同 ...

光阻塗佈: 去水烘烤、HMDS塗佈、光阻塗佈、厚PI塗佈、軟烤將光阻由噴嘴噴吐在晶圓上，使用旋轉載台帶動晶片高速旋轉後，將光阻均勻散佈在晶圓片上.

光阻塗佈程式的參數有光阻管路、轉速、加速度、對應時間、EBR及Exhaust on/off 等。 • Spin speed 範圍在50~5000 rpm，精準度為+/-1 rpm。 • 高精密度...

第二章光阻鍍膜機製程介紹. 本章流程圖. 介紹光阻的化學性質與作用光阻化學成分簡介光阻劑主成之要點. 去水烘烤HMDS 光阻塗佈機製程原理及關係式軟烤的溫度控制.